之前我们介绍了PN结二极管和NPN型三极管的微观结构及工作原理,三极管兼具放大和开关的功能。简单回顾一下三极管的结构原理,对我们理解MOS管和近年热炒的功率器件IGBT会有帮助。事实上这些器件都是从最简单的PN结演化而来,一脉相承。
NPN型三极管结构上是由两个PN结水平对置。当E、B之间加较小的正向偏压(略高于启动电压)时左侧PN结导通,同时掺杂浓度较低且较薄的P区整体势垒降低,电子穿透P区使得E、C之间的大电流导通,从而实现用E、B间的小电流控制E、C间大电流的功能,同时实现了开关和放大作用。
(3)多数载流子(N区中的电子)、少数载流子(P区中的电子)都参与了导电,而少数载流子浓度受温度等环境因素影响大,不稳定。
中间同样是NPN型(两个N+区为N型重掺杂,P区为单晶硅衬底),只是在上表面增加了一层SiO2(绝缘体)层,在类似NPN型三极管B极的位置,换成一个金属栅极(gate)。左侧N+区称为源极(source),右侧N+区称为漏极(drain)。这样一个半导体器件能够实现什么功能呢?
如果源极接地,栅极偏压VG为0(或反向偏压)时,源极、漏极之间的任何偏压都不能产生电流(同三极管),这是因为中间P区势垒较高,NPN不导通;
如果栅极加正向偏压,金属栅中的电子向上方聚集,栅靠近绝缘氧化层一侧产生正电荷(空穴),硅衬底靠近氧化物一侧(氧化层对面)聚集电子,当栅极偏压超过临界值时,P区通道聚集的电子浓度超过临界值,使得源极和漏极导通(此时金属栅、P区以及中间的绝缘氧化层起到一个电容器的作用)。
这一过程,通过控制栅极电压产生的电场(场效应)影响管道的导电率、开关状态:
可以看出,这种结构虽然没有放大电流的作用,但也实现了开关作用。同时,由于绝缘氧化层很难击穿、控制端(金属栅)本质上是一个电容,这种结构相比NPN三极管更适应高功率等一些复杂工况下的开关角色。
实际上MOS管的概念早在双载流子晶体管在贝尔实验室发明之前就有了,只是受限于材料和加工工艺,直到1980s,MOS管才取代双载流子晶体管成为主流,目前仍然是处理器、存储器等逻辑电路的基础结构,只是在材料、结构细节上有各种改进。
传统的MOS管在实现开关功能方面,相比三极管有了很大改进,但仍然不够完美。如果要用在高电压、大电流(高功率)场景,为防止击穿,需要对MOS管结构进行改进。例如在漏极旁边串联一个很长的漂移区用来分压:
虽然这样的器件能够实现大功率要求,可是它依然有它固有的缺点,由于它的源、栅、漏三端都在表面,所以漏极与源极需要拉的很长,太浪费芯片面积。而且由于器件位于表面,器件与器件之间如果要并联则复杂性大增。所以后来发展了VDMOS(Vertical DMOS),把漏极统一放到晶圆背面:
但沟道还是是横在表面的,面积利用率还是不够高。后来对MOS管的其他结构改进还是不能把工作电压提高到理想的水平(最高达到过约1000V)。
既然MOS管的传统结构无法适应很高的工作电压,自然就有了基于MOS管的更复杂的结构——IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)绝缘栅双极型晶体管:
结构上看和VDMOS非常接近,但在背面的漏极增加了一个P+层,下半部分实际上变成了一个三极管(双极结型晶体管,Bipolar Junction Transistor, BJT),原来的源极变成了发射极(Emitter),漏极变成了集电极(Collector)。
IGBT能够在MOS管导通的时候除了MOS管N区自己的电子还能从漏极(BJT的集电极)注入空穴,从而增大了输出电流。IGBT将三极管和MOS管结合在一起,兼具MOS管驱动功率小和三极管输出电流大的优势,适应600V以上的高功率场景,如交流电机、变频器等。
总之,IGBT和MOS管都实现了开关功能,但IGBT的性能更强。但为什么一个高功率开关的应用会如此广泛呢?
以电动车为例,动力电池输出直流电,但电机需要使用交流电驱动,从而需要逆变器将直流电转化为交流电。逆变器如何工作?下图展示了一个逆变器的最基本的电路结构:
S1和S4为一组同步开关,S2和S3为一组,两组交替打开/关闭,用电器两端的电压就会实现正负交替变化。
这只是最基本的电路原理,但我们可以看出,开关是实现直流/交流转化的重要元件,考虑到实际工况下的高电压、大电流、高频、大温差、振动等各种环境影响,对开关器件的性能要求会很高,这时IGBT的优势将会非常明显。
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