金融界2023年12月5日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“晶体管及其形成方法“,授权公告号CN108231588B,申请日期为2017年10月。
专利摘要显示,一种方法包括形成伪栅极堆叠件,形成介电层,其中伪栅极堆叠件位于介电层中,去除伪栅极堆叠件以在介电层中形成开口,形成延伸到开口中的金属层,并且回蚀刻金属层。金属层的位于开口中的剩余部分的边缘低于介电层的顶面。在开口中选择性地沉积导电层。导电层位于金属层上方,并且金属层和导电层组合形成替换栅极。本发明的实施例还涉及晶体管及其形成方法。
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