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龙8中国唯一官方网站台积电取得晶体管及其形成方法专利可实现优化的晶体管形成方式

作者:小编    发布时间:2024-06-29 02:42:51    浏览量:

  金融界2023年12月5日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“晶体管及其形成方法“,授权公告号CN108231588B,申请日期为2017年10月。

  专利摘要显示,一种方法包括形成伪栅极堆叠件,形成介电层,其中伪栅极堆叠件位于介电层中,去除伪栅极堆叠件以在介电层中形成开口,形成延伸到开口中的金属层,并且回蚀刻金属层。金属层的位于开口中的剩余部分的边缘低于介电层的顶面。在开口中选择性地沉积导电层。导电层位于金属层上方,并且金属层和导电层组合形成替换栅极。本发明的实施例还涉及晶体管及其形成方法。


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