重新设计的P型晶体管采用两层金属栅极，N型晶体管采用多晶硅栅极，以实现全球顶级水平的驱动性能

　　2007年6月15日，瑞萨科技（Renesas Technology Corp.）宣布，开发出一种具有45 nm（纳米）及以上工艺的微处理器和SoC（系统级芯片）器件、低成本制造能力的超高性能晶体管技术。新技术利用瑞萨开发的专有混合结构（在2006年12月以前发布的一种先进技术）改善了CMIS（注1）晶体管的性能。瑞萨已经在2007年6月12日于日本京都举行的2007年超大规模集成电路技术专题研讨会（2007 Symposium on VLSI Technology）上阐述了这一新的、增强的混合结构，并演示了测试数据。

　　像以前的技术一样，新的半导体制造技术有一个采用氮化钛（TiN）金属栅极的P型晶体管，以及一个采用传统多晶硅栅极的N型晶体管。不过，新的P型晶体管采用两层栅极结构，而不是单层栅极，以更有效地控制门限电压（注2）。而且，新型混合结构利用应变硅制造技术来提升驱动电流能力。与以前的瑞萨混合结构相比，这些创新产品的性能大约提高了20%。重要的是，新型结构可以实现低成本制造，因为它不需要对目前的制造工艺进行重大改变。

　　一个包含40 nm栅极长度晶体管的实验芯片已经制造完成。对这个芯片的测试数据证实了其全球顶级水平的驱动性能：在1.2 V电源电压条件下，N型晶体管为1,068μA/μm，P型晶体管为555μA/μm。

　　新开发的芯片制造技术的第一个元件是新型P型晶体管栅极结构，它包括两层氮化钛层。高介电系数层分别是CVD-TiN层和PVD-TiN层，多晶硅根据这个顺序堆积在一个硅衬底上。PVD-TiN层要比CVD-TiN层致密，因此可以抑制硅从多晶硅电极扩散进入CVD-TiN层，从而防止增加门限电压的特性变化。更重要的是，实际上两个TiN层可降低晶体管的门限电压大约100 mV，达到满足低漏电器件的水平。

　　新开发技术的其他应用是已经在先进半导体器件中广泛采用的应变硅技术。该技术可以用于瑞萨混合结构，因为真正结构的CMIS晶体管制造工艺非常类似于传统的CMOS工艺晶体管。这种应变硅技术可改善双向驱动性能。它可以使通道部分变形，通过电流形成一条路径。它还可以扩展或缩小硅晶格间距，使电子和空穴更容易移动。

　　上一篇：瑞萨科技开发出片上SOI SRAM前瞻技术 可实现32纳米及以上工艺

　　2月8日，苏州市电子信息产业创新集群建设推进大会暨友达光电低温多晶硅项目启动仪式在昆山举行，电子信息产业成为苏州首个年产值破万亿元的产业。会上总投资1290亿元的150个重大项目集中签约开工。其中，同兴达半导体、普诺威电子等项目签约落户昆山。据悉，同兴达半导体先进封装项目，预计总投资30亿元，达产后产值预计32亿。深圳同兴达科技股份有限公司是深圳主板上市企业，主要研发、生产LCD液晶显示模组和摄像头显示模组，计划在昆山千灯投资兴建先进封装技术的GoldBump（金凸块）封测工厂，产品应用于集成电路封装技术及光电组件的对外连接。普诺威高密度互联载板(mSAP)项目，总投资13亿元。江苏普诺威电子股份有限公司于2004年成立，主要

　　2月8日，友达光电低温多晶硅项目启动仪式在昆山举行。据苏州日报报道，友达光电是全球排名前三的大尺寸液晶面板生产厂商。友达光电低温多晶硅项目启动仪式上，友达光电董事长彭双浪视频致辞。友达光电（昆山）有限公司2021年完成产值69.5亿元、同比增长49.5%，此次增资18亿美元用于升级产线和扩大产能，新项目达产后公司年产值将突破百亿元。去年，昆山与友达光电举行云签约仪式。当时第一昆山消息显示，随着总投资18亿美元的低温多晶硅（LTPS）显示面板增资项目正式落户，友达光电成为昆山市外资单体投资最大的产业项目。值得一提的是，在近期公布的2022年江苏省重大项目清单中，昆山友达光电第六代低温多晶硅液晶面板扩产项目在列。

　　美国政治新闻网站Politico援引4名知情人士的消息称，拜登政府正在考虑以所谓的“强迫劳动”借口，禁止美国从中国新疆地区进口太阳能电池板的关键原材料多晶硅！报道称，目前尚不清楚美国政府会在何时采取这一行动，也不清楚美国海关和边境保护局（CBP）是否会对整个新疆地区实施进口禁令，还是针对特定的企业采取行动。尽管美国多名国会议员和太阳能产业人士已连续数月要求拜登政府采取行动，但有分析指出，中国制造商占据了全球多晶硅产量的80%，其中新疆地区的制造商就占据了45%的份额，如果美国真的禁止进口新疆的多晶硅产品，很可能对美国太阳能产业供应链造成打击，并极大延后拜登的清洁能源计划。这些知情人士告诉Politico，拜登政府正在考虑发布暂扣令

　　2020年下半年以来，国内光伏产业链价格迎来涨价潮。其中，多晶硅料价格一路走高，让下游光伏制造企业看到了原材料保供的重要性。由于国内生产效率高、成本低，全球多晶硅产业向中国转移的趋势明显。多晶硅行业也历经狂热投资、产能过剩、淘汰兼并的过程，硅料价格从十多年前至今总体趋势向下，具备成本优势的龙头企业慢慢跑出，行业集中度提升。德国分析机构Bernreuter最新报告指出，“随着太阳能成为最便宜的能源，未来几年全球光伏装机量的增长将超出许多的想象，这将推动多晶硅的需求增长。”光伏产业链大致可分为多晶硅、硅片，中游电池片、组件，以及下游光伏发电系统三大环节。光伏发电的技术路线

　　产业解析 /

　　12月14日，隆基股份发布公告称，公司7家子公司与新特能源股份有限公司（以下简称“新特能源”）签订五年期多晶硅料采购协议。此合同生效后，隆基股份子公司与新特能源及其子公司新疆新特晶体硅高科技有限公司于 2018年7月27日签订的多晶硅料长单合同中2021年的合同量将不再执行。根据协议，本合同为五年期多晶硅料长单采购合同，合同约定采购量不少于27万吨，具体订单价格月议，按当前市场价格预估，本合同总金额约192.35亿元。如按照中国有色金属工业协会硅业分会2020年12月9日公布的单晶致密料成 交均价8.05万元/吨测算，预估本合同总金额约192.35亿元（不含税），合同总金额占隆基股份2019年度经审计营业成本的约82.24%，年均

　　集微网消息，昨(13)日，太阳能硅晶圆厂达能宣布，去年太阳能市况陷入低迷，公司的主要产品多晶硅片价格下跌达到6成，市场价格远低于生产制造现金成本，即使2019年以来价格略回稳，公司也致力于各项成本降低，仍无法避免卖越多亏越多的窘境。因此，董事会决议将不符合经济效益的晶圆厂停产。达能还表示，目前台湾电池厂客户多专注于生产单晶硅电池，这导致多晶硅片失去了内需市场。综观全球太阳能发展趋势，达能指出，即使未来全球太阳能市场还有机会出现成长趋势，且在相关绿能政策推动下，使台湾内需市场有机会进一步发展。然而在市场产品价格剧烈下跌，和单晶产品大幅侵蚀市占率之环境下，多晶硅片着实难以再度回复产能利用率。另外，随着产业结构变化，多晶硅片由于生产成本

　　片卖越多亏越多 /

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